電子工業(yè)廢氣VOCs產(chǎn)生環(huán)節(jié)及污染物類型:

　　VOCs排放涉及涂裝行業(yè)、農(nóng)藥醫(yī)藥、石油化工行業(yè)、涂料油墨染料生產(chǎn)、家具制造業(yè)、印刷業(yè)、干洗業(yè)、電子工業(yè)、合成革與人造革等行業(yè)。

　　電子工業(yè)廢氣VOCs排放主要特點:

　　電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類多，組分復(fù)雜。

　　一般來說，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。

　　排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體

　　現(xiàn)在有的VOC電子工業(yè)廢氣處理方法可以簡單分為兩大類：

　　一類稱為破壞性方法，包括蓄熱燃燒法和催化焚燒法;

　　另一類稱為回收性方法，常用的回收方法有吸收法、吸附法和光催化氧化技術(shù)。

　　一.蓄熱燃燒法：

　　蓄熱式熱氧化(簡稱RTO)回收熱量采用一種新的非穩(wěn)態(tài)熱傳遞方式。主要原理是：有機廢氣和凈化后的排放氣交替循環(huán)，通過多次不斷地改變流向，來大限度地捕獲熱量，蓄熱系統(tǒng)提供了極高的熱能回收。

　　通過燃燒來消除有機物的，其操作溫度高達700℃-1,000℃，這樣不可避免地具有高的燃料費用;為降低燃料費用，需要回收熱量，有兩種方式：傳統(tǒng)的間壁式換熱，新型非穩(wěn)態(tài)蓄熱換熱技術(shù)。

　　二.催化燃燒法：

　　本法是把廢氣加熱到200～300℃經(jīng)過催化床催化燃燒轉(zhuǎn)化成無害無臭的二氧化碳和水，達到凈化目的。該法適用于高溫、中高濃度的有機廢氣治理，國內(nèi)外已有廣泛使用的經(jīng)驗，效果良好。該法是治理有機廢氣的有效方法之一，但對于低濃度、大風(fēng)量的有機廢氣治理存在設(shè)備投資大、運行成本較高的缺點。

　　三.活性炭吸附法：

　　利用吸附劑(粒狀活性炭和活性炭纖維)的多孔結(jié)構(gòu)，將廢氣中的VOC捕獲。將含VOC的有機廢氣通過活性炭床，其中的VOC被吸附劑吸附，廢氣得到凈化，而排入大氣。